Mikrostrukturierte Halbleitergassensoren. Leistungsreduzierung durch den Einsatz von mikrostrukturierten "Micro-Hotplates"

Die zunehmenden Schadstoffkonzentrationen in der Luft erfordern die Entwicklung von Sensoren und Messsystemen, mit denen die Erfassung von Schadstoffen in der Atmosphäre einfach und preisgünstig möglich ist. Zur Realisierung solcher Sensoren wird zunehmend auf Standardprozesse der Mikrosystemtechnik zurückgegriffen, was somit die Integration von kompletten Systemen auf einem Chip ermöglicht.