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Abschlussarbeit
Ein Beitrag zur Steuerung und Regelung für quasistatische Mikrospiegel
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2012
Diploma Thesis
Title
Ein Beitrag zur Steuerung und Regelung für quasistatische Mikrospiegel
Thesis Note
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2012
Author(s)
Schroedter, Richard
Advisor(s)
Sandner, Thilo
Publishing Place
Dresden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS