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Konferenzschrift
Si-DLC basierende Schichtsysteme mit anwendungsoptimierten Eigenschaften
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2011
Conference Paper
Title
Si-DLC basierende Schichtsysteme mit anwendungsoptimierten Eigenschaften
Author(s)
Hofmann, D.
Kunkel, S.
Bewilogua, K.
Wittorf, R.
Mainwork
Amorphe Kohlenstoffschichten - tribologische Anwendungen und industrielle Herstellungsverfahren
Conference
Workshop Amorphe Kohlenstoffschichten 2011
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST