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Konferenzschrift
Energy Harvesting auf der Basis piezoelektrischer AlN- und AlScN -Dünnschichten
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2016
Conference Paper
Title
Energy Harvesting auf der Basis piezoelektrischer AlN- und AlScN -Dünnschichten
Author(s)
Barth, Stephan
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Bartzsch, Hagen
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Glöß, Daniel
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Frach, Peter
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Suchaneck, Gunnar
Technische Universität Dresden
Gerlach, Gerald
Technische Universität Dresden
Mainwork
Smarte Strukturen und Systeme
Conference
Symposium für Smarte Strukturen und Systeme (4Smarts) 2016
DOI
10.1515/9783110469240-041
Language
English
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
