Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten

Aus Gründen der Kontaminationsminimierung bei Fertigungen unter Reinraumbedingungen wird die reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten zunehmend bedeutender. Als Grundlage zur Definition von Konstruktionsrichtlinien sind Handhabungskomponenten bezüglich ihrer Reinraumtauchlichkeit und den Quellen der Partikelemmission untersucht worden. Die Untersuchungsergebnisse sind beschrieben und daraus Konstruktionsrichtlinien abgeleitet.