2021
Doctoral Thesis
Title

Untersuchungen zur CMOS-kompatiblen Herstellung freistehender, thermokatalytischer Sensorelemente zur Detektion brennbarer Gase

Thesis Note
Duisburg-Essen, Univ., Diss., 2021
Author(s)
Münchenberger, Finja M.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Advisor(s)
Dreiner, Stefan  
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Michel, Marvin D.  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Person Involved
Vogt, Holger
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Palzer, Stefan
Uni Dortmund /Sensorik
Publishing Place
Duisburg-Essen
Language
German