Ebene Keramiksubstrate für den Aufbau hybrid-optischer multifunktionaler Systeme

Optische Baugruppen sind zunehmend durch Miniaturisierung und die notwendige Integration elektronischer, thermischer und aktorischer Funktionalität gekennzeichnet. Im Beitrag wird eine Technologie vorgestellt, durch die multifunktionale Systeme, die über optische Bauelemente hinaus auch elektronische, mikromechanische und thermoelektrische Bauelemente enthalten, hybrid auf keramischen Substanzen integriert werden können. Die so aufgebauten Baugruppen sind im Vergleich zu klassischen Optikaufbauten thermisch stabil und weisen eine gute Langzeitbeständigkeit auf.