Transparent leitfähige Schichten für SIS Solarzellen

Transparente und leitfähige Schichten bilden die Grundlage für viele Anwendungen im Bereich der Optoelektronik. Neben dem Einsatz als transparente Elektroden für LEDs und OLEDs, können sie auch zur Herstellung von Semicanductor-Insulator-Semiconductor (SIS) Solarzellen verwendet werden. Dazu sind Indiumzinnoxid (ITO) oder Aluminium dotiertes Zinkoxid (AZO) mittels gepulstem DC Sputtern auf Silizium abgeschieden.