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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Beeinflussung des Wärme- und Stofftransports bei der Vertical-gradient-freeze-Kristallzüchtung durch ein rotierendes Magnetfeld
 
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2006
Doctoral Thesis
Title

Beeinflussung des Wärme- und Stofftransports bei der Vertical-gradient-freeze-Kristallzüchtung durch ein rotierendes Magnetfeld

Abstract
Bei der Vertical Gradient Freeze-Züchtung von Halbleiterkristallen bis zu einem Durchmesser von 2? wurde in einer speziell entwickelten Anlage die Beeinflussung des Wärme- und Stofftransports in der Schmelze durch ein rotierendes Magnetfeld (RMF) untersucht. An GaAs- und Ge-Kristallen konnte bei Einwirkung des RMF eine verminderte Durchbiegung der Phasengrenze aufgrund geringerer radialer Temperaturgradienten festgestellt werden. Die Analyse der Segregationsprozesse ergab unter RMF-Einfluss signifikante Änderungen der Ausdehnung der Diffusionsgrenzschicht vor der Phasengrenze. Dies spiegelte sich in einer verbesserten axialen und radialen Homogenität der Ladungsträgerverteilung in den Kristallen wider. Die kritische magnetische Taylor-Zahl, die den Übergang von stationärer zu instationärer RMF-Konvektion charakterisiert, konnte für verschiedene Geometrieverhältnisse der Schmelze experimentell bestimmt werden.
Thesis Note
Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2006
Author(s)
Wunderwald, U.  
Publishing Place
Freiberg
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Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
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