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Konferenzschrift
Bewertung der mechanischen Zuverlässigkeit mikrotechnischer Aufbauten mittels in-situ-Verformungsexperimenten im REM
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1995
Conference Paper
Title
Bewertung der mechanischen Zuverlässigkeit mikrotechnischer Aufbauten mittels in-situ-Verformungsexperimenten im REM
Author(s)
Kühnert, R.
Tränkner, K.
Auersperg, J.
Michel, B.
Mainwork
2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik, und Mikroelektronik '95. Proceedings
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik 1995
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
