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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Oberflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck
 
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2005
Journal Article
Title

Oberflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck

Title Supplement
Barrieren-Entladung
Abstract
Mit Atmosphärendruck-Plasmaverfahren ist es möglich, große Flächen in hohen Prozessgeschwindigkeiten zu aktivieren und zu beschichten. Der folgende Beitrag informiert über den Stand der Technik und beschreibt Anwendungen.
Author(s)
Thomas, M.
Eichler, M.
Klages, C.-P.
Journal
JOT. Journal für Oberflächentechnik  
DOI
10.1007/BF03242827
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Keyword(s)
  • Dünnschicht

  • elektrische Entladung

  • Gasatmosphäre

  • Dielektrikum

  • Barriere

  • atmosphärischer Druck

  • Oberflächeneigenschaft

  • Precursor

  • Aminogruppe

  • dünne Schicht

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