1999
Doctoral Thesis
Title

Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren

Thesis Note
Chemnitz, TU, Diss., 1999
Author(s)
Wiemer, M.
Publishing Place
Chemnitz
Language
German
Keyword(s)