Verschieben der Prozessgrenzen - Hybride Abtragtechnologien in der Präzisions- und Mikrofertigung

Die Entwicklung neuartiger, innovativer Produkte ist abhängig von der Verfügbarkeit effizienter Fertigungstechnologien. Mikro-EDM als ein abtragendes Fertigungsverfahren zur Bearbeitung schwer spanbarer Materialien kann wegen seines Verfahrensprinzips des Schmelzens und Verdampfens durch elektrischen Funkenüberschlag unabhängig von der Härte, Festigkeit oder Sprödheit des Werkstücks eingesetzt werden. Mikro-EDM mit seiner niedrigen Entladeenergie wird erfolgreich zur Herstellung von hochpräzisen Mikrogeometrien genutzt. Die Präzisionsfertigung von komplexen Formen wie tiefen Mikrobohrungen benötigt stabile Prozessbedingungen im Funkenspalt. Dessen Minimierung - Voraussetzung für kleinste Abmessungen und höchste Genauigkeiten - begrenzt die Nutzbarkeit konventioneller Spülmethoden. Es kommt zu größeren Anteilen unerwünschter Prozesszustände (Leerlauf und Kurzschluss), niedriger Prozessgeschwindigkeit und Formfehlern. Neue hybride Ansätze wie Ultraschall- oder Niederfrequenzüberlagerung erhöhen Geschwindigkeit und Stabilität signifikant. Bei Nutzung ultraschallunterstützter Mikro-EDM kann die Prozessgeschwindigkeit um bis zu 40% erhöht sowie Bohrungsdurchmesser von weniger als 90µm mit Aspektverhältnissen >40 erreicht werden.