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Konferenzschrift
Parameteridentifikation von Material und Prozessparametern im Package mit Hilfe des Stresschips
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2015
Conference Paper
Title
Parameteridentifikation von Material und Prozessparametern im Package mit Hilfe des Stresschips
Author(s)
Schindler-Saefkow, Florian
Rost, F.
Rzepka, Sven
Mainwork
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2015
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
