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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Simulation und Charakterisierung einer bi-direktionalen Dreikammermikropumpe aus Edelstahl
 
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2015
Conference Paper
Title

Simulation und Charakterisierung einer bi-direktionalen Dreikammermikropumpe aus Edelstahl

Author(s)
Artelsmair, A.
Wackerle, M.
Richter, M.
Irlinger, F.
Mainwork
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM  
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2015  
Language
German
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
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