Optische Verformungsmessungen an Mikrosystemen bei extremen Temperaturdifferenzen
Abstract
Die dynamische Messung schneller mikroskopischer Verformungen unter starken thermischen Belastungen stellt eine erhebliche technische Herausforderung dar. An einer Lösung besteht in vielen Bereichen der Industrie großes Interesse. Wir beschreiben im Folgenden ein erfolgreich umgesetztes Konzept zum Aufbau eines geeigneten Messsystems.
