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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Ionenquellen in der Vakuum-Dünnschichttechnik
 
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2005
Journal Article
Titel

Ionenquellen in der Vakuum-Dünnschichttechnik

Abstract
Ionenquellen kommen in der Vakuum-Dünnschichttechnik in vielfältigen Bauarten und Anwendungen zum Einsatz. Der Artikel bietet eine Übersicht über die Grundlagen für den Betrieb einer Ionenquelle sowie über den aktuellen Stand der Technik. Er beschreibt dabei die wesentlichen Parameter einer Quelle, typische Bauformen und Applikationen sowie die Komponenten der Stromversorgung.
Author(s)
Reuschling, R.
BOC Edwards GmbH
Schultheiß, E.
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Zeitschrift
Vakuum in Forschung und Praxis
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DOI
10.1002/vipr.200500265
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Tags
  • Vakuum

  • Dünnschichttechnik

  • Ionenquelle

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