• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Artikel
  4. Ionenquellen in der Vakuum-Dünnschichttechnik
 
  • Details
  • Full
Options
2005
Journal Article
Title

Ionenquellen in der Vakuum-Dünnschichttechnik

Abstract
Ionenquellen kommen in der Vakuum-Dünnschichttechnik in vielfältigen Bauarten und Anwendungen zum Einsatz. Der Artikel bietet eine Übersicht über die Grundlagen für den Betrieb einer Ionenquelle sowie über den aktuellen Stand der Technik. Er beschreibt dabei die wesentlichen Parameter einer Quelle, typische Bauformen und Applikationen sowie die Komponenten der Stromversorgung.
Author(s)
Reuschling, R.
BOC Edwards GmbH
Schultheiß, E.
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis  
DOI
10.1002/vipr.200500265
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Keyword(s)
  • Vakuum

  • Dünnschichttechnik

  • Ionenquelle

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024