Bestimmung der spezifischen VOC-Emissionsrate von Materialoberflächen

Emissionen flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) aus Materialien in Reinraumumgebungen spielen eine immer wichtigere Rolle. Besonders Materialien mit großem Oberflächenanteil (Wände, Böden, Decken, Klimatechnik) und Materialien mit potentiell starker VOC-Emission (Dichtstoffe, Kleber, Reaktivsysteme, Lacke, Beschichtungen, Schmierstoffe) sollten deshalb vorab einer Prüfung hinsichtlich deren materialspezifischer Emissionsrate bei Raumtemperatur betrachtet werden. Dies kann durch eine Mikrokammermessung und anschließender Analytik mittels Thermodesorptions-Gaschromatographie gekoppelt mit einem Massenspektrometer (TD-GC/MS) erfolgen. Durch eine logarithmische Umrechnung der materialspezifischen Emissionsrate in eine dimensionslose Materialkennzahl wird eine einfache Vergleichbarkeit zwischen den einzelnen Materialien gewährleistet. Einige Substanzklassen werden in Halbleiterfertigungen als kritisch angesehen. Diese sind unter anderem Siloxane, Phthalate, Organophosphate und Amine. Ob die zu untersuchenden Materialien kritische Komponenten beinhalten, wird durch eine Messung bei 90 °C (total outgassing) bewerkstelligt. Das genannte Vorgehen wurde in der Richtlinie VDI 2083 Blatt 17 standardisiert und ist Bestandteil dieses Vortrages.