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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Optisches Meßsystem mit Mikrospiegelprojektion
 
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1998
Conference Paper
Titel

Optisches Meßsystem mit Mikrospiegelprojektion

Author(s)
Berndt, D.
Steinmann, C.
Hauptwerk
Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik 1998. Tagungsband
Konferenz
Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik 1998
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Language
German
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Fraunhofer-Institut für Fabrikbetrieb und -automatisierung IFF
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