Die Mikrosystemtechnik bedient sich so unterschiedlicher Basistechnologien wie der Elektronik, Mechanik, Optik oder Fluidik. Zusätzlich liefert die Mikrosystemtechnik Schnittstellen, um innovative Entwicklungen aus anderen Bereichen wie der Bio- oder der Nanotechnik anschlussfähig zu machen und in Produkte zu integrieren. Bei der Umsetzung in anwendungsgerechte Produkte spielen die System- und Integrationstechnik die entscheidende Rolle für den Erfolg. Erst durch intelligente Integration, welche die Besonderheiten von Material, Technologie, Schnittstellen und die industrielle Fertigung beachtet, lassen sie die Potenziale von Mikrotechniken und -komponenten für marktgerechte, kundenorientierte Produkte in verschiedensten Anwendungsbereichen nutzen. In Teilen bereits realisierte Anwendungen solcher Integrationstechnologien reichen vom RFID-Label mit integrierter Sensorik und Messung von Stoß- und Temperaturbelastungen zur Optimierung der Warenlogistik über die Integration von Beschleunigungssensoren in einem Golfball zur Messung des Spins beim Abschlag bis hin zur Integration von Elektronik in Textilien, etwa zur Herstellung eines EKG-T-Shirts.
