1999
Conference Paper
Title

Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse

Author(s)
Wibbeler, J.
Küchler, M.
Steiniger, C.
Bertz, A.
Wolf, K.
Mehner, J.
Gessner, T.
Mainwork
Conference
Language
German