1999
Conference Paper
Titel

Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse
Author(s)
Wibbeler, J.
Küchler, M.
Steiniger, C.
Bertz, A.
Wolf, K.
Mehner, J.
Gessner, T.
Hauptwerk
Konferenz
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Language
German