Investigation of Si(1-x)Ge(x)/Si heterostructures on SIMOX substrates for CMOS applications

2000

Book Article

Author(s)

Trui, B.

Frohberg, K.

Hürrich, A.

Hauptwerk

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual report 1999

Language

English