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Abschlussarbeit
Dynamik der Schichtabscheidung von Keramiken mit KrF-Excimer-Laserstrahlung
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2001
Doctoral Thesis
Title
Dynamik der Schichtabscheidung von Keramiken mit KrF-Excimer-Laserstrahlung
Thesis Note
Aachen, TH, Diss., 2001
Author(s)
Gottmann, J.
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT