2005
Diploma Thesis
Titel

Entwicklung einer integrierten Steuerung für eine PVD-Beschichtungsanlage auf der Basis von VAC-NT
ThesisNote
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2005
Author(s)
Förster, L.
Advisor
Klostermann, H.
Verlagsort
Dresden
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Language
German