2008
Journal Article
Title

Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

Author(s)
Ehret, G.
John, C.
Buhr, E.
Ferstl, M.
Fraunhofer-Institut für Nachrichtentechnik, Heinrich-Hertz-Institut HHI  
Helgert, M.
Sandfuchs, O.
Brunner, R.
Journal
Conference
Language
German