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Piezoresistiver Drucksensor mit Temperaturkompensation zweiter Ordnung
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1993
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Titel
Piezoresistiver Drucksensor mit Temperaturkompensation zweiter Ordnung
Author(s)
Hammerschmidt, D.
Schnatz, F.V.
Hauptwerk
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1992
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
