Die Mikromechanik nahm ihren Anfang in den frühen 70er Jahren, als mittels nasschemischen Ätzens Gruben in Siliziumwafer geätzt wurden, um dünne Siliziummembranen herzustellen. Damit war der Grundstein für die Realisierung miniaturisierter Drucksensoren gelegt. Seit dem Beginn des MAP-Sensors 1979 hat sich die mikromechanische Drucksensorik bis heute zu einem weltweiten Markt mit einem geschätzen Umsatz von ca. einer Milliarde US Dollar entwickelt. Möglich wurde dies durch die Potentiale der Mikrosystemtechnik, kostengünstige, zuverlässige und miniaturisierte innovative Lösungen bereitzustellen. Aus den ersten einfachen Piezowiderständen sind heute intelligente Systeme mit komplexen integrierten Schaltungen geworden - sogennante "Smart Sensoren".
