Im Projekt PROZESS 2000 arbeiten mehrere Partner aus Industrie, Forschung, Anlagenbau und Anwender zusammen. Das Ziel des Projektes besteht in der Konzeption, Entwicklung und Realisierung eines Baukastensystems für ein modulares Produktionszentrum in Clusterbauweise zur Herstellung von Mikrosystemen und Komponenten auf planaren Substraten. Dieses Produktionszentrum für die Mikrotechnik ist entsprechend der Zielsetzung ein modulares, in bezug auf die Umwelt isoliertes Produktionssystem mit einem zentralen Transportmodul. Es verbindet über standardisierte Hard- und Software Schnittstellen Prozeß- und Qualitätssicherungsmodule sowie standardisierte Transfersysteme (z.B. SMIF) miteinander. Die Prozessmodule können, müssen aber nicht, vom gleichen Lieferanten stammen. Die Vorteile des modularen Produktionszentrums für die Mikrotechnik sind: - Einsatz in der klein- und mittelständischen Industrie. - Von der Umwelt abgeschlossene Reinraumatmosphäre (keine Großreinräume notwendig.) - Offene So ftwarearchitektur zur einfachen Modulanbindung. - Entwicklung firmenspezifischer Schlüsseltechnologien mit Hilfe der gelieferten Basistechnologie.
