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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Neue kristalline Piezoaktoren für die industrielle Messtechnik
 
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2005
Journal Article
Title

Neue kristalline Piezoaktoren für die industrielle Messtechnik

Other Title
New crystalline piezo actuators for industrial measurement applications
Abstract
Es wurden neuartige monokristalline Piezoaktoren, die für die industrielle Messtechnik besonders gut geeignet sind, entwickelt und untersucht. Der vorliegende Beitrag zeigt, wie die Herstellungstechnologie der thermischen Domäneninversion optimiert wurde, wobei noch ein relativ großer Spielraum zur Verbesserung dieser Technologie und somit zur Steigerung der Leistungsfähigkeit der neuen Aktoren besteht. Darüber hinaus haben die Untersuchungen der Wandler folgende Eigenschaften gezeigt: hohe Linearität, extrem kleine Hysterese im Bereich von Promille der maximalen Ablenkung, Ermöglichung von Torsionsbewegungen mit hoher Bandbreite (3 kHz), sehr gute Temperaturstabilität und eine sehr hohe Auflösung beim Einsatz als Laserstrahlablenker.
Author(s)
Hinkov, V.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Körber, M.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Journal
Technisches Messen : TM  
DOI
10.1524/teme.2005.72.7-8.476
Language
German
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Keyword(s)
  • Piezo-Aktoren

  • LiNbO3

  • Piezoeffekt

  • Domäneninversion

  • kristallines Bimorph

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