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Konferenzschrift
Großflächige Atmosphärendruck PECVD bei variablem Arbeitsabstand
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2011
Conference Paper
Titel
Großflächige Atmosphärendruck PECVD bei variablem Arbeitsabstand
Author(s)
Kotte, L.
Dani, I.
Althues, H.
Kaskel, S.
Hauptwerk
V2011 - Industrieausstellung & Workshop-Woche Vakuumbeschichtung und Plasmaoberflächentechnik. Tagungskatalog
Konferenz
Industrieausstellung & Workshop-Woche Vakuumbeschichtung und Plasmaoberflächentechnik 2011
DOI
10.24406/publica-fhg-375077
File(s)
001.pdf (2.81 MB)
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
