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Funding Code
16SV865 /8
Project Title
16SV865 /8
Description
Verbundprojekt: Erzeugung dreidimensionaler Mikrostrukturen (MikroStruk) - Teilvorhaben: Technologieentwicklungen in den Bereichen Lithographie und NiFe-Mikrogalvanik
Keyword(s)
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Start Date
1998
End Date
30.06.2002
Framework Progam
Funding Program
BMBF