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Projekt
0327672A
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Project Title
0327672A
Description
Verbundprojekt: EpiTest A: Herstellung und Test von Epitaktischen Waferäquivalenten im Technikumsmaßstab
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Keyword(s)
EPITEST
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Start Date
2007
End Date
30.06.2010
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Dünnschichttechnologien Silizium
Funder
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
BMWi