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Fraunhofer-Gesellschaft
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Funding Code

01M2945G/0

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Project Title
01M2945G/0
Description
Verbundprojekt: EUREKA-Projekt: JESSI (EU 127) - Ultrareine Naßchemikalien und Versorgungssysteme - Teilvorhaben: Prozeßtechnologie und Partikelmeßtechnik (JESSI E235b)
Keyword(s)

JESSI E235B

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Start Date
1994
End Date
31.12.1996
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung  
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich  
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung  
BMBF
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