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Funding Code
16ESE0288
Project Title
16ESE0288
Description
Verbundprojekt: Technologien für die nächste Generation höchstintegrierter Mikroelektronik - TAPES3 -, Teilvorhaben: Simulation anamorpher Abbildungsoptiken und zugehöriger Maskentechnologien
Keyword(s)
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Start Date
2018
End Date
30.09.2021
Framework Progam
Funding Program
BMBF