English
Deutsch
Log In
Log in with Fraunhofer Smartcard
Password Login
Research Outputs
Fundings & Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Projekt
01M2970D/1
Details
Project Partner
Export
Statistics
Options
Show all metadata (technical view)
Project Title
01M2970D/1
Description
Verbundprojekt: Logistisches Zentrum zum Sortieren und Speichern von Halbleitersubstraten (SF-ELZ)
Show more
Keyword(s)
Logistisches Zentrum ...
Loading...
Loading...
Start Date
1996
End Date
31.03.1999
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF