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Funding Code
13N10459
Project Title
13N10459
Description
Verbundprojekt: Plasma und Optische Technologien (PluTO) - Teilvorhaben: Untersuchung, Optimierung und Monitoring plasmagestützter Verdampfungsprozesse (IAD)
Keyword(s)
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Start Date
2009
End Date
30.04.2014
Framework Progam
Funding Program
BMBF