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Funding Code
NT 2697 /0
Project Title
NT 2697 /0
Description
Bewertung zukünftiger Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
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Start Date
1984
End Date
31.12.1985
Framework Progam
Funding Program
BMBF