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Funding Code
01M3154T
Project Title
01M3154T
Description
Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD) - Teilvorhaben: Entwurf und Realisierung eines programmierbaren Aperturplatten-Systems für die maskenlose Elektronenstrahlprojektionslithographie (ML2)
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Start Date
2003
End Date
30.09.2006
Framework Progam
Funding Program
BMBF