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Projekt
NT 2596 /2
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Project Title
NT 2596 /2
Description
Plasma-Verfahren
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Start Date
1982
End Date
31.03.1984
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
