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Fraunhofer-Gesellschaft
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Project Title
NT 2400A/6
Description
Errichtung des Fraunhofer-Instituts für Siliziumtechnologie (ISIT) in Itzehoe - Teil 1: Durchführung der Errichtungsplanung und Vorbereitung der Baudurchführung
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Start Date
1992
End Date
31.03.1998
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung  
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich  
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung  
BMBF
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