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0329879E
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Project Title
0329879E
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Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung
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Keyword(s)
Inline-Plasmaätzanlag...
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Start Date
2001
End Date
31.12.2003
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Funder
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
BMWi
