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Fraunhofer-Gesellschaft
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NT 2614 /2
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FKZ
NT 2614 /2
Fact Sheet
Partner
Project Title
NT 2614 /2
Description
Laserkristallisierung von Polykristallinen Siliziumschichten auf Isolierendem Substrat
Start
01.11.1981
End
31.12.1984
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
