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NT 2614 /2
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Funding Code
NT 2614 /2
Details
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Project Title
NT 2614 /2
Description
Laserkristallisierung von Polykristallinen Siliziumschichten auf Isolierendem Substrat
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Start Date
1981
End Date
31.12.1984
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF