Verbundprojekt: Prüf- und Qualitätssicherungssystem für die industrielle Fertigung von wafergebondeten Mikrosystemen - MikroPrüf - Teilvorhaben: Entwicklung von Prüftechniken und -verfahren, Ermittlung mechanischer Kenngrößen und Festigkeitsanalysen wafergebondeter Bauteile