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Funding Code
NT 2714 /0
Project Title
NT 2714 /0
Description
Automatisierung, Kontaminationskontrolle, Prozesstechnik sowie Test- und Messverfahren bei der Entwicklung von Halbleiterfertigungsgeräten (Arbeitsgruppe Halbleiterfertigungsgeräte)
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Start Date
1986
End Date
31.12.1989
Framework Progam
Funding Program
BMBF