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Funding Code
NT 2686E/2
Project Title
NT 2686E/2
Description
Verbundprojekt: Submikron - Teilvorhaben: Entwicklung und Erprobung der Röntgenstrahllithographie als Prozesstechnik für Sub-Mym-Bauelemente
Keyword(s)
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Start Date
1984
End Date
30.09.1987
Framework Progam
Funding Program
BMBF