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Funding Code
16SV113 /4
Project Title
16SV113 /4
Description
Verbundprojekt: 3D-Strukturerzeugung mit UV-Lithographie (3D-Litho) - Teilvorhaben: Mechanische Charakterisierung additiv abgeschiedener Metallschichten
Keyword(s)
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Start Date
1995
End Date
30.06.1997
Framework Progam
Funding Program
BMBF