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Funding Code
13N7746
Project Title
13N7746
Description
Verbundprojekt: Herstellung und Replikation von großflächigen 3D-Nano- und Mikrostrukturen - Teilvorhaben: Produktionsanlagen und Meßtechnologien zur Herstellung und Qualitätsprüfung mikro- und nanostrukturierter Produkte
Keyword(s)
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Start Date
2000
End Date
31.07.2003
Framework Progam
Funding Program
BMBF