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Projekt
NT 0497 /3
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Project Title
NT 0497 /3
Description
Passivierung von Halbleiter-Leistungsbauelementen durch Thermische Oxidation
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Start Date
1974
End Date
31.03.1977
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
