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Funding Code
NT 2686I/3
Project Title
NT 2686I/3
Description
Verbundprojekt: Submikron - Teilvorhaben: Zweidimensionale Prozessimulation Vollständiger Technologischer Prozessabläufe
Keyword(s)
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Start Date
1983
End Date
31.12.1986
Framework Progam
Funding Program
BMBF