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03FPF00013
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Project Title
03FPF00013
Description
Forschungsprämie: iPoMEMS: integrierte Positionssensoren für MEMS
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Start Date
2008
End Date
30.09.2010
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Forschungsprämie I
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
